Präzisions-Diamant-Ritzgerät MR 200 zum manuellen Ritzen für das definierte Trennen strukturierter Si-Wafer
MR 200 ist das ideale Werkzeug für REM-Präparationen in der Halbleitertechnologie.
Der Aufbau und die Ausstattung des MR 200 ermöglichen das hochgenaue Ritzen zum definierten Brechen strukturierter Silizium-Wafer. Vor allem für REM-Präparationen in der Halbleitertechnologie ist das MR 200 ein unentbehrliches Hilfsmittel. Der Einsatz für die Vereinzelung von Chips ist für kleine Stückzahlen, also vor allem im Laborbereich, ebenfalls möglich.
Der mechanische Grundaufbau bietet zahlreiche Möglichkeiten zur Einstellung der Ritzparameter. Die hochwertige Zoomoptik ermöglicht den stufenlosen Vergrößerungswechsel von 8x bis 40x.
Optik und Mechanik können mit Zusatzbaugruppen erweitert werden, um die Leistungsfähigkeit und den Bedienkomfort weiter zu steigern.
Dazu gehören ein Ausbausatz zum Anschluss einer Kamera, ein Bildverarbeitungssystem mit Messfunktionen und digitale Messsysteme für die Tischverschiebung.
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