KIVOS ist ein sehr flexibles, modulares Konzept für Plasmasysteme.
Diese Systeme sind in den verschiedensten Anwendungsbereichen wie zum Beispiel Feinreinigung und Aktivierung von Oberflächen, reaktivem Ionenätzen (RIE) und Beschichtung (PECVD, PVD) einsetzbar. Das Konzept erlaubt AURION die kostengünstige Fertigung von hochentwickelten Produkten zu günstigen Preisen. Von diesem Preisvorteil profitieren unsere Kunden. Ein weiterer Vorteil ist, daß ein einziges System für ganz unterschiedliche Applikationen eingesetzt werden kann.
Max. 4 Gasfluss-Controller mit einem Durchfluss von bis zu 500 sccm pro Controller, Netzanschluss: 3/N/PE AC 400/230V, Kammervolumen: 30 l, Abmessunge...
Vakuumrezipienten wahlweise aus Aluminium oder Edelstahl, Vakuumpumpen in korrosiv-gasfester Ausführung inkl. Ölnebelabscheider mit Ölrückführung, bis...
komplette Systeme für die Behandlung von und Beschichtung auf Oberflächen mittels Plasmaprozessen
Aktivierung, Reinigung und Ätzen mit Atmosphärendru...
Kompakte Systeme, minimale Stellfläche - Hohe Plasmadichten für kurze Prozesszeiten - Optimierte Homogenität durch Plasma-Array mit 2-dimensionalem Ga...
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum an.
Die erhältlichen Konfiguratione...
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum an.
Die erhältlichen Konfiguration...
Max. 4 Gasfluss-Controller mit einem Durchfluss von bis zu 500 sccm pro Controller, Netzanschluss: 3/N/PE AC 400/230V, Kammervolumen: 30 l, Abmessunge...
Vakuumrezipienten wahlweise aus Aluminium oder Edelstahl, Vakuumpumpen in korrosiv-gasfester Ausführung inkl. Ölnebelabscheider mit Ölrückführung, bis...
komplette Systeme für die Behandlung von und Beschichtung auf Oberflächen mittels Plasmaprozessen
Aktivierung, Reinigung und Ätzen mit Atmosphärendru...
Kompakte Systeme, minimale Stellfläche - Hohe Plasmadichten für kurze Prozesszeiten - Optimierte Homogenität durch Plasma-Array mit 2-dimensionalem Ga...
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum an.
Die erhältlichen Konfiguratione...
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum an.
Die erhältlichen Konfiguration...